来源:河南迪凡科技 发布时间:2022-10-25 10:39:58 点击次数:727
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11 & rdquo.期间,承担了国家科技重大专项";超大规模集成电路制造设备及成套工艺
取得多项突破,我国集成电路制造水平首次达到国际先进水平
是记者从科技部、北京市和上海市在京召开的新闻发布会上获悉的
据介绍,";11 & rdquo.在此期间,启动了58个专项,各项任务按计划有序开展,共申请专利4248件,取得了许多标志性成果
在成套工艺方面,突破了一批核心技术,实现了65纳米成套工艺的批量生产,使我国集成电路成套工艺技术实现跨越式发展,进入国际主流水平
在设备和零部件方面,一批12英寸关键机产品和关键零部件取得突破,改变了长期以来被国外公司垄断的被动局面
封装测试方面,形成了较为完整的密封测试产业链,大大增强了国内企业的竞争实力
关键材料方面,一批适用于65纳米工艺的关键材料取得突破,进入12英寸生产线批量应用
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